클린룸 천장을 가로지르는 무진동 고정밀 OHS 주행 레일 서스펜션
(주)영광테크의 정밀 CNC 5축 가공 기술과 독자적 제진 설계를 집약하여 완성한 초저파티클 서스펜션, 고강성 알루미늄 트랙 및 핵심 구동 컴포넌트 라인업입니다.
Class 1 무진동 5축 가공 보증
무발진 댐퍼 & 코팅 체결
Muratec · Daifuku 호환
OHS 천장 서스펜션 &
고강성 앵커 브래킷 시스템
초고속 OHS 셔틀의 가감속 시 발생하는 모멘트 하중과 미세 진동을 완벽히 흡수하는 YKAPS 듀얼 아이솔레이터 기술이 적용되었습니다. 반도체 FAB 천장 격자 보(Grid)에 직결되어 장기 처짐 및 축 틀어짐을 원천 방지합니다.
고강도 알루미늄 빌렛
AL6061-T6 초정밀 5축 머시닝으로 잔류 응력 극소화 및 비틀림 강성 극대화.
엘라스토머 댐퍼
고유 진동수 동조 억제 댐핑 코어로 웨이퍼 캐리어 전달 미진동을 격리.
마이크로 얼라인먼트
상하·좌우 3축 미세 조정 볼트 구조를 적용해 레일 셋업 시간 40% 단축.
Zero-Particle 체결
SUS304/SUS316 전용 무발진 코팅 볼트와 이중 풀림 방지 너트 채택.
초정밀 반도체·디스플레이 클린룸 FAB 구축
OHS 핵심 부품 일괄 맞춤 공급
단품 가공부터 조립 모듈, 규격 맞춤 커스텀 제작까지 — (주)영광테크 본사는 고객사 설비 규격(Muratec, Daifuku, SEMES 호환)에 최적화된 고신뢰성 부품을 신속하게 공급합니다.
100% 도면 기반 맞춤 제작
3D CAD/도면 접수 후 24시간 내 DFM 기술 검토 및 전용 지그/브래킷 맞춤 설계 지원
Class 1 검증 완제품 출하
AL6061-T6 정밀 5축 가공, 특수 아노다이징 및 파티클 무세정 포장 일괄 대응
규격 호환성 및 라인 증설
신규 FAB 증설, 기존 라인 개보수 및 교체 부품(서스펜션, 휠, 스위치 등) 안정적 납품
OHS 주행 셔틀 핵심 구동 부품
AMHS Cleanroom Shuttle Parts
DRIVE UNIT
주행 모터 & 저마모 휠
Coreless BLDC / 특수 전도성 우레탄 휠
정전기 방출(ESD Safe) 규격을 충족하는 초저마모 우레탄 코팅 휠과 고효율 BLDC 드라이브. 슬립 없는 부드러운 가감속 보장.
HOIST & GRIPPER
수직 승하강 호이스트 유닛
반도체 300mm FOUP / CST 전용
파티클 발생을 억제한 스틸 코드 타이밍 벨트 및 와이어 기구 적용. 로드포트 도킹 시 충격을 제로화하는 동기 제어 승강 메커니즘.
HANGER & BRACKET
천장 고정용 행거 & 브래킷
상부 구조물 체결 및 정밀 레벨링
와플 슬래브 등 클린룸 천장 격자 보와 레일을 단단하게 연결해 주는 지지대로, 미세 진동이나 외력에도 레일 수평을 유지하는 미세 조절 탑재.
OHS 알루미늄 주행 트랙 & 인프라
High-Rigidity Extruded Rail Components
고정밀 압출 주행 레일
A6063S-T5 정밀 인발재를 사용하여 직진도 0.1mm/m 이내의 고정밀 가공 실현. 하드 아노다이징으로 마찰 파티클 억제.
커브드 트랙 & 스위치 분기
곡선 주행 구간 및 고속 분기 트랙에서의 3차원 정밀 가공. 셔틀 주행 방향 전환 시 유격이 없는 무충격 레일 구조.
고강성 레일 조인트 플레이트
레일 간 체결 이음새 단차를 0.005mm 이내로 잡아주는 스플라이스 플레이트. 열팽창 수축을 흡수하여 충격 차단.
제조 가공 기술 및 품질 규격 요약
YKAPS SPEC-V24| 가공 구분 | 적용 소재 / 규격 | 정밀도 및 표면 처리 |
|---|---|---|
| 서스펜션 브래킷 | AL6061-T6 / SUS304L | ±0.005mm / Hard Anodizing |
| 주행 레일 프로파일 | A6063S-T5 고정밀 인발재 | 직진도 0.1mm/m / Clear Anodizing |
| 우레탄 휠 코어 | AL7075-T6 + ESD PU | 진원도 0.003mm 이내 |
| 호이스트 기어 블록 | SCM440 / PEEK 클린 엔프라 | JIS 1급 치형 연마 |
| 천장 앵커 & 행거 | SS400 / SUS304 고장력 | 아연니켈합금도금 / 무발진 패시베이션 |
OHS 시스템 부품 제작 및 맞춤형 견적 의뢰
3D STEP 파일, 2D DWG 도면 또는 사양서를 첨부해주시면 담당 엔지니어가 24시간 이내에 가공성(DFM) 검토 결과와 견적서를 회신해 드립니다.
